四甲基氢氧化铵
四甲基氢氧化铵（TMAH），简称TMAH，又称四甲基氢氧化铵，是一种有机碱。 分子式为(CH3)4NOH。 无色透明，有氨气味，PH>13。 在135～150℃完全分解气化，生成三甲胺、甲醇和甲醚。 易与空气中的二氧化碳发生反应。 [1][2] 该化学物质主要通过电解制备。 [3] 可作为集成电路（IC）行业、液晶显示行业（TFT-LCD）、光电（LED）行业的开发商。 还可用作清洗剂和工业催化剂。 [2] 杭州格林达电子材料有限公司自主创新研发的核心产品——电子级四甲基氢氧化铵（TMAH显影剂），成功打破了国外技术垄断，填补了国内空白。 [4]